- электронная микролитография
- Makarov: electron microlithography
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
электронная микролитография
Смотреть что такое "электронная микролитография" в других словарях:
ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА — твердотельное устройство, содержащее группу приборов и их соединения (связи), выполненное на единой пластине (подложке). В И. с. интегрируются пассивные элементы (ёмкости, сопротивления) и активные элементы, действие к рых основано на разл. физ.… … Физическая энциклопедия
